Considere dois feixes incidentes distintos – um de elétrons e o outro de íons...

a) tanto os feixes de íons quanto o de elétrons penetram profundamente em amostras com elementos de elevado número atômico.

b) os feixes de íons penetrarão mais profundamente que o de elétrons, independente da amostra, devido a sua maior quantidade de movimento.

c) os feixes de íon atravessam completamente qualquer tipo de amostra.

d) devido as suas maiores dimensões, os íons têm maior probabilidade de interação com átomos da amostra, o que impede que os íons penetrem profundamente a amostra.

e) em consequência de seu tamanho e de sua energia, uma maior quantidade de raios-X é emitida por uma amostra quando bombardeada por um feixe de íons, comparando-se com a mesma amostra bombardeada por um feixe de elétrons.