Considerando as duas principais aplicações dos silicetos - porta em transistores MOS e como metal de contato sobre as regiões de fonte e dreno desses transistores - a escolha do siliceto para estas utilizações requer a observação do seguinte requisito: A) máxima penetração na junção. B) alta resistividade. C) alta rugosidade. D) existência de processo de corrosão seletiva do metal evaporado em relação ao siliceto. E) Reação ao SiO 2 durante as temperaturas de silicetação.

D) existência de processo de corrosão seletiva do metal evaporado em relação ao siliceto.

Considerando as duas principais aplicações dos silicetos - porta em transistores MOS e ...

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