Onde se aplica o limite de Abbe em fotolitografia?

✂️ a) No projeto das máscaras litográficas.

✂️ b) No projeto de lentes da alinhadora.

✂️ c) No cálculo do limite de resolução do sistema óptico das alinhadoras.

✂️ d) No limite do microscópio utilizado para o alinhamento.

✂️ e) Na escolha da lâmpada da alinhadora.

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