A caracterização e a análise de propriedades elétricas e ópticas de materiais e dispositivos (eletrônicos e eletrópticos) é atividade de interesse fundamental no desenvolvimento das tecnologias de informação. Quanto a esse tema, julgue os itens que se seguem.
A microscopia de varredura capacitiva (SCM), apesar de sua grande sensibilidade e resolução espacial, é pouco utilizada na caracterização de dispositivos e circuitos VLSI devido ao seu caráter destrutivo.