Quais as principais causas das ondas estacionárias nos fotorresistes?

✂️ a) Pouca mobilidade das cadeias poliméricas no fotorresiste.

✂️ b) Pouca difusão do foto-ácido.

✂️ c) Espessura do fotorresiste.

✂️ d) A difração nos limites das lentes e nas bordas das estruturas nas máscaras.

✂️ e) Comprimento de onda utilizado.

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