Qual a definição de litografia em processos de microeletrônica?

✂️ a) A escrita em substratos planos.

✂️ b) Qualquer método de definição de padrões em circuitos integrados.

✂️ c) A etapa de processo utilizada para a transferência de padrões na fabricação de circuitos integrados.

✂️ d) Método ótico de escrita direta.

✂️ e) Método de fabricação de circuitos integrados.

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