Qual a necessidade de estruturas de inspeção em litografia?

✂️ a) Para o controle do processo litográfico sem que haja a necessidade de fabricar totalmente o dispositivo.

✂️ b) Para testar o sistema ótico da alinhadora.

✂️ c) É utilizado como marca d’água pelo fabricante das máscaras.

✂️ d) Para o controle do projetista da máscara litográfica.

✂️ e) Só é utilizada ao término do dispositivo.

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