Qual a definição de resolução em litografia?

✂️ a) Menor distância entre dois pontos observados no microscópio.

✂️ b) Espaço entre duas estruturas em um dispositivo.

✂️ c) Comprimento de onda do UltraVioleta utilizado.

✂️ d) Menor distância entre duas linhas definidas no resiste.

✂️ e) Significado definido pelo fabricante da alinhadora.

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