Quais as reações que ocorrem durante o Prebake ?

✂️ a) O endurecimento do fotorresiste para resistir as corrosões por plasma.

✂️ b) A homogenização do fotorresiste e o aumento da sensibilidade.

✂️ c) A degradação do fotorresiste e sua posterior remoção.

✂️ d) A remoção do solvente, a adesão do fotorresiste e a ativação do foto-ácido.

✂️ e) A transição vítrea do polímero.

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