O que é a litografia de três camadas?

✂️ a) Litografia composta de camada de planarização, camada de barreira e camada fotossensível.

✂️ b) Litografia composta de três camadas de fotorresiste depositadas sequencialmente.

✂️ c) Processo litográfico para o desenvolvimento de dispositivos de três camadas tipo MOS.

✂️ d) Litografia utilizada na fabricação de máscaras litográficas.

✂️ e) Processo alternativo a fotolitografia com resistes não sensíveis à luz.

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