Como é definida a tolerância que pode ser aceita em um processo litográfico?

✂️ a) Pelas regras de leiaute do CI em ¼ da menor dimensão do dispositivo.

✂️ b) Pela tecnologia, atualmente em 0,27 micrometros.

✂️ c) Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes a resolução do sistema.

✂️ d) Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes o comprimento de onda.

✂️ e) Pelo menor passo da alinhadora.

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