O que é modo de contato em fotolitografia?

✂️ a) É o método utilizado para dupla exposição do fotorresiste sem perda de definição.

✂️ b) É o modo de exposição em que o substrato fica em contato íntimo com a máscara litográfica.

✂️ c) É o método de geração de imagem na superfície do fotorresiste com posterior difusão do solvente.

✂️ d) É o modo no qual a máscara litográfica é colocada próxima a fonte de UV.

✂️ e) É o uso de sistemas litográficos com fixação do substrato por vácuo no chuck da alinhadora.

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