Como se define a profundidade de foco em fotolitografia?

✂️ a) É a maior profundidade em que é projetada a imagem no fotorresiste sem que haja perda de definição das bordas.

✂️ b) É a maior área do fotorresiste iluminada durante a exposição litográfica.

✂️ c) É a distância em que deve ser colocada a lâmina de silício em relação à máscara litográfica.

✂️ d) É a espessura máxima do fotorresiste.

✂️ e) É a profundidade das trincheiras obtidas após a revelação do fotorresiste.

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