Quais as principais causas do limite de resolução em fotolitografia?

✂️ a) Espessura do fotorresiste, tempo de cura e revelador.

✂️ b) Material da máscara litográfica e tipo de alinhadora.

✂️ c) Tecnologia do dispositivo e fabricante da máscara.

✂️ d) Revelador utilizado, tempo de exposição do fotorresiste e conteúdo sólido do fotorresiste.

✂️ e) Comprimento de onda, tipo de fotorresiste, sistema ótico da alinhadora e limite de definição da máscara.

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