Quais os principais materiais empregados em máscaras litográficas?

✂️ a) Emulsão fotográfica, cromo sobre quartzo e ferróxido sobre quartzo.

✂️ b) Cromo sobre vidro óptico, pirex com resina, negativo fotográfico.

✂️ c) Silício corroído, filmes finos de titânio, PDMS.

✂️ d) Película de Berílio, PDMS e PGMEA.

✂️ e) Cromo sobre quartzo, PDMS, Kapton.

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