Acerca da formação de filmes por deposição química em fase vapor (CVD), julgue o...

Questão de Química da banca CESPE CEBRASPE aplicada no concurso INMETRO (2007). Confira a resolução completa abaixo:

Acerca da formação de filmes por deposição química em fase vapor (CVD), julgue os itens a seguir.

As taxas de deposição obtidas por CVD são bem inferiores às obtidas por PVD, nas tecnologias VLSI (very large scale integration).