Por que devemos realizar etapa de recozimento térmico após uma etapa de implanta...

Questão de Engenharia Elétrica da banca FUNRIO (2012). Confira a resolução completa abaixo:

Por que devemos realizar etapa de recozimento térmico após uma etapa de implantação de íons na obtenção de uma junção? 1 – Para corrigir os defeitos causados pela implantação de íons. 2 - Para a ativação elétrica dos dopantes implantados. 3 - Para oxidar a lâmina. 4 - Para definir a profundidade e o perfil de dopagem. Está (ão) correta (s) apenas a (s) afirmativa (s):