Para evitar ou reduzir o efeito de canalização de íons numa lâmina de Si com orientação cristalina (100) durante a implantação de íons, a lâmina deve ser posicionada no implantador com inclinação e rotação? A) Não, somente com inclinação. B) Sim, com rotação e inclinação da lâmina. C) Não, pois a lâmina de Si tem estrutura amorfa. D) Não, pois com a lâmina de Si com orientação cristalina (100) não ocorre o efeito de canalização. E) Sim, mas não precisa da inclinação.

B) Sim, com rotação e inclinação da lâmina.

Para evitar ou reduzir o efeito de canalização de íons numa lâmina de Si com orientação...

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