Quais as principais vantagens de plasmas de alta densidade tipo ICP (acoplamento indutivo) em comparação com plasmas com acoplamento capacitivo, para processos de corrosão? A) Maior aquecimento de amostras durante a corrosão. B) Controle independente de densidade do plasma e da autopolarização (self-bias). C) Taxas de corrosão mais altas. D) Danos em materiais menores. E) Pressão de gás menor.

B) Controle independente de densidade do plasma e da autopolarização (self-bias).