Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor e...

Questão de Engenharia Elétrica da banca FUNRIO (2012). Confira a resolução completa abaixo:

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?

1 -W e SiO2.

2 - SiO2 e Si3N4.

3 - Si3N4 e silício policristalino.

4 - Si3N4, SiO2 e silício policristalino.