No processo de implantações de íons, qual deve ser a dose da implantação de íons...

Questão de Engenharia Elétrica da banca FUNRIO (2012). Confira a resolução completa abaixo:

No processo de implantações de íons, qual deve ser a dose da implantação de íons para se obter em junções rasas (com profundidade menor que 10 nm e concentração de dopantes em torno de 1020 cm-3) em lâmina de Si?