Questões Engenharia Elétrica Princípios de Ciências dos Materiais

No processo de implantações de íons, qual deve ser a dose da implantação de íons para s...

Responda: No processo de implantações de íons, qual deve ser a dose da implantação de íons para se obter em junções rasas (com profundidade menor que 10 nm e concentração de dopantes em torno de 1020


1Q786464 | Engenharia Elétrica, Princípios de Ciências dos Materiais, FUNRIO

No processo de implantações de íons, qual deve ser a dose da implantação de íons para se obter em junções rasas (com profundidade menor que 10 nm e concentração de dopantes em torno de 1020 cm-3) em lâmina de Si?
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