Quais as motivações para o emprego da implantação de íons em substituição à difusão em ...

Quais as motivações para o emprego da implantação de íons em substituição à difusão em forno térmico? 1- Controle preciso da profundidade de junção através da energia de aceleração do feixe de íons. 2- Controle preciso da concentração de dopantes na junção através da dose de implantação de íons. 3- Permite o uso de máscara de fotoresiste, pois, normalmente, é um processo executado em temperatura ambiente. Está (ão) correta(s) apenas a(s) afirmativa(s):