O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é amplamente utilizado porqu...

O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é amplamente utilizado porque I – apresenta propriedades dielétricas superiores ao dióxido de silício. II – pode ser obtido em baixas temperaturas. III – possui ótima aderência ao substrato de silício. Com relação às propriedades mencionadas acima, assinale a alternativa com a(s) propriedade(s) verdadeira(s) do SOG.