O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é amplamente utilizado porque I – apresenta propriedades dielétricas superiores ao dióxido de silício. II – pode ser obtido em baixas temperaturas. III – possui ótima aderência ao substrato de silício. Com relação às propriedades mencionadas acima, assinale a alternativa com a(s) propriedade(s) verdadeira(s) do SOG.
Questão: O óxido depositado por spin-on, também conhecido como SOG, é...
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