O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das afirmativas abaixo é a correta? A) Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip. B) Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz. C) Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida. D) Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips. E) A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.

C) Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.

Questões Engenharia Elétrica Microeletrônica

O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No ...

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1Q787549 | Engenharia Elétrica, Microeletrônica, FUNRIO

O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das afirmativas abaixo é a correta?

✂️ a) Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip.
✂️ b) Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz.
✂️ c) Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.
✂️ d) Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips.
✂️ e) A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.