Qual deve ser a energia de aceleração do feixe de íons no processo de implantaçã...

Questão de Engenharia Elétrica da banca FUNRIO (2012). Confira a resolução completa abaixo:

Qual deve ser a energia de aceleração do feixe de íons no processo de implantação para se obter em junções rasas (com profundidade menor que 10 nm) em lâmina de Si?