Leia as afirmativas abaixo acerca da oxidação de silício. I – Para obtenção de u...

Leia as afirmativas abaixo acerca da oxidação de silício. I – Para obtenção de uma mesma espessura de óxido a uma dada temperatura, a oxidação seca é um processo mais rápido que a oxidação úmida. II – A oxidação úmida é realizada pela técnica spin-on. III – A oxidação consome silício do substrato, de maneira que a espessura total após a oxidação não é igual à soma da espessura inicial da camada de silício com a espessura da camada de óxido. Assinale a alternativa com a(s) afirmativa(s) correta(s)