O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No ...

Q787549 | Engenharia Elétrica, Microeletrônica, FUNRIO

O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das afirmativas abaixo é a correta?

a) Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip.
b) Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz.
c) Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.
d) Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips.
e) A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.